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Filmetrics 光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x

簡(jiǎn)要描述:Filmetrics F32 光反射式膜厚儀特殊的光譜分析系統(tǒng)采用半寬的3u rack- mount底盤,加上附加的分光計(jì),可達(dá)到四個(gè)不同的位置(EXR和UVX版本至多兩個(gè)位置)。F32膜厚儀軟件可以通過數(shù)字I/O或主機(jī)軟件來控制啟動(dòng)/停止/復(fù)位測(cè)量。測(cè)量數(shù)據(jù)可以自動(dòng)導(dǎo)出到主機(jī)軟件中進(jìn)行統(tǒng)計(jì)過程控制。還提供可選的透鏡組件,以便于集成到現(xiàn)有的生產(chǎn)裝置上。

  • 產(chǎn)品型號(hào):F32
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2025-06-24
  • 訪  問  量:3851
產(chǎn)品詳情

Filmetrics F32 光反射式膜厚儀




Filmetrics F32 光反射式膜厚儀產(chǎn)品介紹:

Filmetrics F32 光反射式膜厚儀特殊的光譜分析系統(tǒng)采用半寬的3u rack- mount底盤,加上附加的分光計(jì),可達(dá)到四個(gè)不同的位置(EXR和UVX版本至多兩個(gè)位置)。F32膜厚儀軟件可以通過數(shù)字I/O或主機(jī)軟件來控制啟動(dòng)/停止/復(fù)位測(cè)量。測(cè)量數(shù)據(jù)可以自動(dòng)導(dǎo)出到主機(jī)軟件中進(jìn)行統(tǒng)計(jì)過程控制。還提供可選的透鏡組件,以便于集成到現(xiàn)有的生產(chǎn)裝置上



Filmetrics F32 光反射式膜厚儀產(chǎn)品特點(diǎn)優(yōu)勢(shì):

  • 非接觸測(cè)量:避免損傷薄膜,適用于脆弱或敏感材料;

  • 高精度與寬量程&:垂直分辨率達(dá)納米級(jí),可測(cè)厚度范圍從1nm至3mm;

  • 多場(chǎng)景適用性:基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系數(shù)的薄膜都可以測(cè)量。

  • 測(cè)量速度快:配置完成后,數(shù)秒內(nèi)即可完成測(cè)量。

  • 預(yù)裝了100多種材料,使得單層和多層薄膜的測(cè)量很容易實(shí)現(xiàn)

  • 提供可選的透鏡組件,以便于集成到現(xiàn)有的生產(chǎn)裝置上


Filmetrics F32 光反射式膜厚儀產(chǎn)品測(cè)量原理:

當(dāng)入射光穿透不同物質(zhì)的界面時(shí)將會(huì)有部分的光被反射,由于光的波動(dòng)性導(dǎo)致從多個(gè)界面的反射光彼此干涉,從而使反射光的多波長(zhǎng)光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率,可以判斷不同界面的距離進(jìn)而得到材料的厚度(越多的震蕩代表越大的厚度),同時(shí)也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。



Filmetrics F32 光反射式膜厚儀產(chǎn)應(yīng)用與膜層范例:

薄膜特性:厚度、反射率、透射率、光學(xué)常數(shù)、均勻性、刻蝕量等

薄膜種類:透明及半透明薄膜,常見如氧化物、聚合物甚至空氣

薄膜狀態(tài):固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)薄膜都可以測(cè)量

薄膜結(jié)構(gòu):?jiǎn)螌幽ぁ⒍鄬幽ぃ黄矫妗⑶?/span>



Filmetrics F32 光反射式膜厚儀產(chǎn)品常見工業(yè)應(yīng)用:

半導(dǎo)體膜層

顯示技術(shù)

消費(fèi)電子

派瑞林

光刻膠

OLED

防水涂層

電子產(chǎn)品/電路板

介電層

ITO和TCOs

射頻識(shí)別

磁性材料

砷化鎵

空氣盒厚

太陽能電池

醫(yī)學(xué)器械

微機(jī)電系統(tǒng)

PVD和CVD

鋁制外殼陽極膜

硅橡膠



Filmetrics F32 光反射式膜厚儀產(chǎn)品參數(shù):

波長(zhǎng)范圍:

380-1050nm

光源:

鹵素?zé)?/span>

厚度測(cè)量范圍:

15nm-70um

測(cè)量精度:

0.02nm

光斑大小:

探頭距樣品距離0.007倍

樣品臺(tái)尺寸:

1mm-300mm



Filmetrics F32 光反射式膜厚儀測(cè)量圖:



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