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電鏡應(yīng)用環(huán)境改善方案！FEI（上海）張毅張承青關(guān)鍵詞:電磁干擾、消磁器、消磁器工作原理和性能測(cè)評(píng)目錄一．環(huán)境電磁干擾二．低頻電磁干擾的改善途徑三．主動(dòng)式消磁器的基本工作原理及適用范圍四．主動(dòng)式消磁器性能改進(jìn)（雙線圈、雙探測(cè)器）五．評(píng)測(cè)主動(dòng)式消磁器性能的主要指標(biāo)六．主動(dòng)式消磁器性能測(cè)評(píng)一．環(huán)境電磁干擾自從人類(lèi)發(fā)現(xiàn)了電磁應(yīng)用以來(lái)，電磁能這種不能直接觀察到的物理現(xiàn)象正在日益深入我們生活的方方面面。電磁力給我們帶來(lái)許多便利，大大改善人們的工作和生活環(huán)境，但是在造福人類(lèi)的同時(shí)也帶來(lái)許多...

電鏡和其它精密儀器對(duì)環(huán)境震動(dòng)要求很高，例如電鏡要求X、Y、Z方向的低頻震動(dòng)（0~30Hz）＜6微米；30Hz以上的高頻震動(dòng)＜12微米.。20Hz以下的低頻震動(dòng)，對(duì)電鏡的干擾影響zui大。如果超過(guò)該指標(biāo)，電鏡在高倍率（1萬(wàn)倍以上）照相，就難于得到理想圖像。普通掃描電子顯微鏡（SEM）當(dāng)安置到樓房高層（2層以上），或置于有強(qiáng)震動(dòng)的場(chǎng)地時(shí)（例如附近地下有地鐵，），高倍率3萬(wàn)倍以上觀察、照相就無(wú)法進(jìn)行。而必須使用震動(dòng)隔離系統(tǒng)-防振臺(tái)。場(chǎng)發(fā)射電鏡（FEM）要在幾十萬(wàn)倍觀察和照相，對(duì)震動(dòng)...