KURATECA EST-L 主動式防震臺
KURATECA EST-L 主動式防震臺產品介紹:
KURATECA EST-L 主動式防震臺來自日本馬自達集團下全資子公司KURATECA,有著超過30年歷史,且在這個領域上有著相當豐富的經驗。一些靈敏度很高的儀器可能是一個自然諧振頻率的被動系統,只有主動隔振系統才能抵消共振。KURATECA通過在發展主動防震系統的同時補充了被動系統,主動防震系統可為靈敏的儀器提供各種抵消振動干擾的需求,主動式防震系統(AVI)能夠為科研、工程和生產過程所需要的精密儀器提供一個穩定的測量環境。
KURATECA EST-L 主動式防震臺產品特點:
優于被動系統
模塊可擴展
不影響精密儀器
無低頻共振
無電磁干擾
尺寸小
震動恢復時間迅速(<10ms)
不會升溫
低功耗
無需設置時間
無需校準
可個性化定制
KURATECA EST-L 主動式防震臺測量原理:
KURATECA EST-L 主動式防震臺通過傳感器實時監測外部振動信號,并將數據傳輸至控制器。控制器根據振動波形生成反向作用力,由執行器施加與振動相位相反的力,實現動態抵消,抑制低頻振動及復雜環境干擾。結合被動隔振與主動控制技術,被動系統吸收高頻振動能量,主動系統針對低頻振動進行準確補償,實現全頻段隔振。采用6自由度控制,自適應調節地基振動前饋,抵消多方向振動傳遞。
KURATECA EST-L 主動式防震臺行業應用:
KURATECA EST-L 主動式防震臺廣泛的應用于高負載顯微鏡和其他受低頻振動噪聲影響的精密型研究儀器。KURATECA EST-L 主動式防震臺比較常見的應用是電子顯微鏡,它支持掃描電子顯微鏡和透射電子顯微鏡。
光刻設備 | 光譜測量設備 | 高精度計量設備 | TEM |
SEM | 超高真空掃描探針顯微鏡 | EBL | STM |
KURATECA EST-L 主動式防震臺產品參數:
主動控制范圍: | 0.5Hz–200Hz | 被動控制范圍: | 大于200Hz |
控制器類型: | 數字顯示控制器 | 系統配置: | 隔振模塊和控制器 |
靜息時間: | 不大于0.3s | 尺寸大小: | 200*200*176mm |
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